超純水系統是用于制備純水和高純水的系統，進入自來水預處理模塊，經過預處理，去除顆粒物和異色及異味物質等，以防止RO膜被有機污垢和氯氧化物損壞。之后水通過增壓泵進入反滲透模塊，反滲透模塊有兩個出水口，純水輸出到純水箱暫存。被反滲透膜截留的離子、顆粒、有機分子和細菌通過排水管被輸送到排水口。

　　

　　取水時，啟動輸送泵將純凈水箱中的純凈水泵入紫外線燈中。紫外線燈發射185納米和254納米的光，用于降低水中有機分子和微生物的含量。然后純水被輸送到凈化柱模塊以去除水中的離子。超濾膜及進水過濾器是一種膜過濾器，用于濾除所有規格大于過濾孔徑的顆粒、細菌及細菌內毒素。定期循環水可以提高超純水機的水質。同時，系統還設有原水、預純化水、超純水的監測點，對這三種水的水質進行監測，為耗材的更換和設備的運行狀態提供科學的數據分析。

　　

　　超純水系統的預處理模塊、反滲透模塊、凈化柱模塊、紫外燈、超濾膜、進水過濾器都是消耗裝置，在系統維護期間需要定期更換。超純水系統的工藝主要有以下這些：

　　

　　1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(傳統工藝)

　　

　　2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(新工藝)

　　

　　3、預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(新工藝)

　　

　　4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(新工藝)

　　

　　5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(傳統工藝)