超純水機的預處理可以去除水中顆粒性物質、膠體、余氯，鈣鎂離子，保護反滲透系統，常用的預處理有以下組成：

1、PP(聚丙烯熔噴濾芯)：外松內緊漸進式結構，過濾孔徑5微米，能有效濾除所過濾液體中的各種顆粒雜質，用以阻擋水中的鐵銹、泥沙、蟲卵等大顆粒物質。常用的規格有 10吋、20吋，也可根據實際需求配備 5吋、30吋等。

2、PL(線繞濾芯)：通過把丙綸線或者脫脂棉線當作原材料，經過特殊工藝將丙綸線或者脫脂棉線纏繞聚丙烯材料架上制作而成。線繞濾芯的結構形式是采取外疏內密的方式，可以有效將過濾液體中的懸浮物、鐵銹等雜質，相對 PP，它的納污能力更強，但過濾效果相對較差。常用的規格有 10吋、20吋。

3、活性炭：可以有效去除余氯、有機物 (500~6000Dalton)、重金屬、異色異味等。純水/超純水制備工藝常用的活性炭是優質酸洗活性炭，比表面積大，空隙豐富，過濾效果強。活性炭按照制作工藝和水處理工藝的需求有壓縮活性炭濾芯(AC)其常用規格為 10吋、20吋，顆粒活性炭濾芯其常用規格為 10吋、20吋，及各型號規格的活性炭罐。

4、KDF：高純銅/鋅合金，通過電化學氧化一還原(電子轉移)反應有效地減少或除去水中的氯和重金屬，并抑制水中微生物的生長繁殖。

5、氯霸：Ca₂SO₃，通過還原反應有效去除余氯。

6、石英砂：石英砂由二氧化硅的晶體制成，在超純水機水處理中通常作為機械過濾器的填裝濾料來處理濁度和懸浮物較多的源水。通過填裝不同目數的石英砂，在顆粒與顆粒之間形成不同大小的過流孔徑，能夠有效攔截源水的顆粒雜質和懸浮物。

7、錳砂：錳砂是 Mn0₂ 含量不低于35%的一種水處理濾料。利用錳砂本身反鐵催化作用，將水中的二價鐵催化成三價鐵，再把三價鐵附著在錳礦砂顆粒表面從而起到除鐵的目的。

8、軟化樹脂：通過離子交換作用，除去水中大量的 Ca²⁺、Mg²⁺，降低水硬度。軟化樹脂在使用過程中需要進行再生

9、絮凝劑：多用于多介質過濾器前端去除膠體物質及細小顆粒。

10、阻垢劑：主要針對于高堿度、高硬度、高 PH 的水質，能有效控制反滲透系統的碳酸鹽垢、硫酸鹽垢。

11、殺菌劑：高效廣譜殺菌劑，用來控制反滲透系統全過程微生物的滋生。